ドライポンプ造句

• 一般的にはドライポンプに分類されている。
• ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。
• 真空ポンプは、構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライポンプとに大別される。
• ゲッタリングポンプを除き、これら超高真空ポンプは通常、さらに油回転ポンプやドライポンプなどの低真空ポンプと組み合わせて用いられる。
• ドライポンプは油汚染を嫌う用途で使用されることが多いが、吸着装置やアスピレータなどの低真空向けに安価なダイヤフラムポンプもかなり普及している。