螺旋波等离子体造句

• 螺旋波等离子体的实验研究
• 用螺旋波激励的等离子体称螺旋波等离子体。
• 在离子化阶段产生的是螺旋波等离子体（Helicon Plasma）。
• 与其他的等离子体相比，螺旋波等离子体有许多。
• 螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。
• 实验表明，螺旋波等离子体的最大密度在10Pa的压强下可超过10cm，电离效率最高可达100%。
• 另一方面，在等离子体的稳定性、易操作性及自动调节等方面，螺旋波等离子体比ECR等离子体又略胜一筹。
• VASIMR没有电极，这使得VASIMR不仅在最大功率下能够提供较大推力，而且有很高的离子回旋共振加热效率，另外他所采用的螺旋波等离子体源也具有很高的效率。
• 在刻蚀方面如英国Trikon公司采用的螺旋波等离子体（MORI）源，在电磁场作用下控制等离子体和改善均匀性，它能在300mm片内对氧化物介质均匀地刻25nm通孔，深／宽比达30：1。
• 由于螺旋波等离子体采用射频电源而ECR等离子体采用微波电源，而且螺旋波等离子体所要求的磁场强度比ECR等离子体所要求的低得多，因此螺旋波等离子体的发生装置也要简单一些。
• 本工作采用螺旋波等离子体化学气相沉积( hwp - cvd )方法制备了氢化非晶氮化硅( a - sin _ x ： h )薄膜，系统地研究了不同反应气体配比对薄膜特性的影响，得到了沉积不同组分a - sin _ x ： h的典型实验条件。