终点监测造句

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“超软X射线正比计数管”、“掠入射极紫外摄谱仪”、“高精度光电折射仪”、“等离子刻蚀终点监测仪”、“SVJ数字式光电V棱镜仪”、“短波段光子计数器”、“光学膜厚动态监控仪”等多项课题的研究工作；完成了国家自然科学基金资助项目“亚微米集成电路离子刻蚀工艺终点监测方法研究”；参加研制的“掠人射极紫外摄谱仪”获中院科技进步二等奖；主持研制的“高精度光电折射仪”居国际80年代先进水平，获中科院科技进步三等奖；主持研制的“等离子刻蚀终点监测仪”填补了国内空白，达到了80年代后期国际先进水平，获中科院科技进步三等奖，机械电子工业部“七五”科技攻关优秀成果奖；个人获“七五”科技攻关先进个人奖。
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其他语种

终点监测的英语：endpoint monitoring

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