空位对造句

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结果显示，对于普通轻掺硅片能形成明显的很宽的洁净区的rtp预处理工艺，应用于重掺硼样品时没有洁净区形成，所以rtp预处理获得洁净区的工艺不适用于重掺硼硅片，硼的大量掺杂对氧沉淀促进效果大于高浓度的空位对氧沉淀的洲排浙江大学硕士学位论文李春龙：直拉重掺硼硅单晶中氧沉淀的研究促进效果；大量空位的引入，有利于释放氧沉淀生长过程的内应力，适当增加重掺硼样品氧沉淀密度，减少其尺寸，并伴有层错生成。
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其他语种

空位对的英语：coupled vacancy

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