电子束曝光系统造句

• 澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一??电子束曝光系统（EBL）。
• 世界上第一台扫描电子束曝光系统于1965年T.H.P.Chang在剑桥大学研制成功，并由剑桥仪器公司作为商品投入市场。
• 为满足纳米级电子束曝光系统的要求，JC Nabity的NPGS系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路，并采用PC机控制。
• 1970年法国汤姆逊公司（Thomson CSF）首先成功地将激光干涉定位系统应用于电子束曝光系统，组成了一台完善的电子束曝光机。
• 除电子束曝光系统外，MCN中还包含了高分辨率双束型聚焦离子束显微镜、光学和纳米压印光刻仪、深反应离子蚀刻仪和共聚焦显微镜等众多设备。
• 顾文琪研究员，长期工作在微细加工科研领域，从事电子束曝光技术的研究，注重于电子束曝光系统总体设计和电子光学柱设计，发表论文30多篇。
• 美国硅谷的离子诊断（Ion Diagnostic）公司开发了微型电子束矩阵，可同时平行直写，称电子束曝光系统（MELS），它设计了201个电子光学柱，每柱32电子束，用于300mm片子的曝光。

• 电子束曝光系统的英语：e-beam exposure system