机械抛光机造句

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本论文通过对钽酸锂晶片的化学机械抛光过程的实验研究和抛光运动轨迹的理论分析，研究钽酸锂晶片的抛光加工特性，探讨钽酸锂晶片化学机械抛光机理，系统分析主要工艺参数对化学机械抛光过程的影响规律。
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机械抛光机的英语：mechanical polisher

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