抛光液供给控制装置造句

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本实用新型的抛光液供给控制装置，其在搅拌器上设置容器，容器经供液管与流量泵相连接，所述流量泵为设有流量控制功能的流量控制泵，流量控制泵为蠕动泵。
抛光设备的抛光液供给控制装置，特别涉及透明导电玻璃基板的抛光设备的抛光液供给控制装置，以及对使用此抛光液供给控制装置的透明导电玻璃基板上透明导电膜的抛光过程抛光液流量供给的控制。
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