投影物镜造句

目前，利用更细线宽透射掩模的曝光复制实验正在进行中，以获得最小的复制线宽及schwarzschild微缩投影物镜的最佳焦面。
73urn ） sm ， wyko检测结果）波纹度和高频段的0 56urn （ ms ， afm捡测结果将严重影响schwarzschild微缩投影物镜的成像对比度和传输效率。
Euvl微缩投影物镜为了同时实现大的曝光视场和0 . 1 m以下的成像分辨率，微缩投影光学系统需采用面形精度达亚纳米量级的非球面，但我们现阶段的光学加工和检测技术距此要求尚有一定的差距。
利用zygomark干涉仪检测的schwarzschild微缩投影物镜主、次镜面形精度表明，对可见光工作波段已具有足够高的面形精度，均为5nm ( rms ) ，但在euv ( extremeultraviolet )波段，将给schwarzschild微缩投影物镜带来严重的波面误差。
作为研究的第一步，出于进行euvl原理及系统设计、光学元件的制备、系统集成、掩模曝光实验等相关技术研究目的，采用球面schwarzschild微缩投影物镜是比较切实可行的技术方案。
分析了目前主要的几种投影物镜系统特点,从光学设计理论出发,由专业光学设计软件zemax优化,设计加工了用于高精度准分子激光微孔加工的倍率为100 : 1的投影成像物镜。
用投影物镜造句挺难的，這是一个万能造句的方法