垫氧化层造句

• 然后再去除罩幕层与垫氧化层。
• 一种浅沟渠隔离结构的制造方法，于一基底上依序形成垫氧化层、罩幕层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，然后于基底中形成一沟渠。
• 1、一种浅沟渠隔离结构的制造方法，其特征在于：其步骤包括：提供一基底；于该基底上形成一垫氧化层；于该垫氧化层上形成一罩幕层；于该罩幕层上形成一介电抗反射涂布层；于该介电抗反射涂布层上形成一顶盖氧化层；于该顶盖氧化层上形成一图案化光阻层；以该图案化光阻层为罩幕，对该顶盖氧化层、该介电抗反射涂布层、该罩幕层与该垫氧化层进行蚀刻，并持续蚀刻至该基底内，以形成一沟渠；去除该图案化光阻层；于该沟渠的表面形成一衬氧化层；于该基底上形成一绝缘层并填满该沟渠；以该罩幕层作为研磨终点，利用一化学机械研磨制作工艺去除该罩幕层上的部分该绝缘层、该介电抗反射涂布层与该顶盖氧化层，其中，该化学机械研磨制作工艺中使用一光学终点侦测系统作终点侦测；去除该罩幕层；移除该垫氧化层，其中，该罩幕层的厚度被控制在一第一固定范围，且该介电抗反射涂布层的厚度被控制在一第二固定范围，使得该光学终点侦测系统所使用的一光源可以产生具有最大的反射光信号。

• 垫氧化层的英语：pad oxide