光学偏转造句

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首先,分析了原子力探针系统的中原子力?距离的关系,并确定探针系统的探针的工作模式和样品的扫描模式,从而选择压电陶瓷作为扫描微位移驱动器;采用光学偏转法检测微悬臂偏转量,并选用了psd作为传感元件,并在此基础上进行了系统光路设计及其数学模型的建立。
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光学偏转的英语：optical deflection

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