薄片的步进式投影曝光装置怎么读

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读音分解

薄片的发音
的的发音
步的发音
进的发音
式的发音
投影的发音
曝光的发音
装置的发音

翻译解释

薄片的步进式投影曝光装置的英语：wafer stepper projection system

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